真空系統

?1個70 l/s 渦輪分子泵, 1個機械泵

? 專利的“穿過透鏡”的壓差真空系統

? 電子束在氣體區域的行程：10 mm或2 mm

? 可升級成無油機械泵

? 樣品室真空度(高真空模式) < 6e-4 Pa

? 樣品室真空度(低真空模式) < 10 to 270 Pa

? 典型換樣時間: 高真空模式≤150秒；

低真空及環境真空模式≤270秒(FEI標準測試程序)

樣品室

? 左右內徑284 mm

?10 mm分析工作距離

?8個探測器/ 附件接口

?EDS采集角: 35°

樣品臺

?X/Y = 50 mm

?Z = 50 mm (其中馬達驅動25 mm)

? 手動傾斜：15°- to + 75°

? 連續旋轉360°

? 重復精度: 2 μm (X/Y方向)

? 全對中樣品臺

樣品座

? 多樣品座

? 單樣品座

? 適用于硅片或其它特殊要求的樣品座*

系統控制

? 基于Windows? XP 操作系統的32位圖形用戶界面，

? 鍵盤，光電鼠標

?1個/2個* 19寸液晶顯示器, 分辨率1280 x 1024

? 軟件驅動的輸入/輸出共享器*

? 游戲操縱桿*

? 多功能控制板*

圖像處理器

?SmartSCAN? 智能掃描技術

? 最大4096 x 3536像素

? 圖像文件格式：TIFF (8 or 16 bit), BMP or JPEG

?256 幀平均或積分

系統選項

? 減速模式

? 多功能控制板

? 支持計算機(包括第二個19寸液晶顯示器)

? 游戲操縱桿

? 樣品電流探測

? 遠程診斷

? 視頻打印機

? 樣品座套件

? 機械泵隔音罩

?7針或52針電氣接口

? 波譜儀接口

? 更換成無油機械泵套件

通用第三方附件

? 能譜儀

? 波譜儀

?EBSD

? 冷臺

? 陰極熒光譜儀

? 樣品電流探測器

? 納米機械手

?CAD導航

? 電子探針臺

軟件選項

? 遠程控制/觀察軟件

? 圖像分析軟件

? 基于Web的數據庫軟件

? 高度分布/粗糙度測量軟件

支持文檔

? 在線幫助

? 入門培訓CD

?RAPID?(遠程診斷軟件)

? 免費連接到FEI用戶群在線資源庫

? 免費加入FEI環境掃描用戶俱樂部